
| גראַטינג פּיטש | 20ום |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
| טערמישע עקספּאַנשאַן | 10.6 x 10 -6 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| רעזאָלוציע | 0.5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| איבערחזרנדיקייט | ±1 צוגאב | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| מאַקסימום גיכקייט מעטער/מינוט | 60 (5 מיקראָמעטער); 20 (1 מיקראָמעטער) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| אויסגאַנג טיפּ | טי-טי-על / עיאַ422אַ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| מאַקס. אַקסעלעראַציע | 20 מעטער/ס² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| שוץ | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| מאַכט צושטעל | 60mA מאַקס | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| פאַזע דיספּלייסמאַנט | 90±5° עלעקטריש | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| אַפּערייטינג טעמפּעראַטור | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| סטאָרידזש טעמפּעראַטור | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| הומידיטי | 100% נישט קאָנדענסירט |